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16440A
Manuel de service
Agilent Technologies 16440A Manuel de service Page 72
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Module 8
Capacitance Measurement
8-2
In This Module
•
CMU Fundamentals
•
Classic Test Envi
ronment
•
CMU Calibration
•
SCUU for IV/CV Switching
•
GSWU for Accu
rate Capacit
ance Measure
ment
•
ASU fo
r IV/CV Switching
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Agilent B1500A
1
Semiconductor Device
1
Analyzer
1
Manual Part Number
2
Warranty
2
Technology Licenses
2
Restricted Rights Legend
2
In This Manual
4
Class Exercises
6
Demo.xpg file
7
.xtd files
7
.xtr files
7
1 ohm Resistor
10
1.1 kohm Resistor
10
511 kohm Resistor
10
0.1 uF Capacitor
10
Module 1. Introduction
13
Module 2. Getting Started
13
Module 5. Basic Measurement
15
Contents
20
Contents-8
20
7 Measurement Functions
21
In This Module
22
SMU Pulsed Sweep Measurement
23
SMU Pulse Mode
24
VAR1 Sweep
24
Pulse On Primary Source
25
Hints on Pulsing the HPSMU
26
Limitations
27
SMU Triax Connection
29
Jumper Leads – MOS transistor
30
Data Display Window
31
Drain pulse
32
Enter new name before save
32
Channel Setup
32
Measurement Setup
33
I/V-t Sampling Measurement
34
Sampling Measurement
36
Module 7
37
Measurement Functions
37
RC Measurement
38
10 data/decade
39
Variable for time data
40
Sampling Exercise
40
High speed ADC
41
FIXED range
41
Bias starts at 0 s
42
Negative Hold Time
42
Interval < 2 ms
44
Current source
44
Channel and Measurement Setup
44
Auto Analysis
45
Vth Example
46
Vth Measurement
47
Damaged MOS FET Device?
49
Function Setup
51
Display Setup Page
52
Analysis Setup Page
53
SMU Filter
54
SMU Filter: ON (add filter)
55
SMU Series Resistor
56
0.5 M ohm (device only)
59
Series R: 1MOHM (add 1 M ohm)
60
Calculated value
62
Compensation
62
Standby Function
63
To Use Standby Function
64
Bias Hold After Measurement
65
Bias Hold Function
66
Bias Hold Exercise
68
Repeat Measurement Setup
69
LED lights on
70
LED lights off
70
8 Capacitance Measurement
71
B1500A Multi Frequency CMU
73
CMU Block Diagram
74
C-V Sweep Source
75
C-V Sweep Measurement
76
Cable Connections
77
Conductance
79
Capacitance Measurement
79
Measurement Example
79
CMU Calibration
81
Calibration
82
Opens dialog box to start
82
SCUU – for IV/CV Switching
83
Module 8
84
GSWU Connection Example
87
ASU – for IV/CV Switching
88
Configuration
90
ASU Switch Control
90
Modification Overview
93
To Modify Test Definition
100
Test Definition editor
100
Variable Yes is used in
101
Class Exercise
104
To Use Debug Tools
105
Break point
105
ReturnPort = SMU1
105
ReturnCh = OUT1
105
Variable Inspector
105
Debug: Inspect button
107
Paused point
107
Module 9
109
To Use Built-in Functions
110
To Use Read Out Functions
112
Vth = @L1X
113
To Add Data Display
114
To Use Auto Analysis Function
116
Data Display: OFF/ON
117
Data Store: OFF/ON
117
Assign to external variables…
118
Setup example
119
Result example
120
Using built-in functions
121
To use Auto Analysis twice
124
Auto Analysis Setup
128
Check this box
128
To Set Display Setup
129
Display Setup
129
Idrain=Id@Vth*Polarity
130
To Use Auto Analysis Twice
131
Setting vector data
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